半导体废气处理
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2022-07-28 16:15
半导体废气处理
一、半导废气处理成份
半导体职业废气主要成分为有机废气和酸碱废气两类。有机类成分：非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等，酸碱类成分：氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。
二、职业排放规范
三、半导体废气处理方法
一般半导体职业针对废气处理的解决方案如下：
(1)预处理阶段：采用喷淋塔先对废进行预处理，去除粉尘以及易溶于水的有害气体。
(2)主要处理阶段：在此阶段，比较常见而有用方法有：UV光解，生物过滤分解，焚烧和催化燃烧等。
